制氧设备的发展历程可以追溯到19世纪末期，当时主要是通过物理方法将空气中的氮气和氧气分离来制备高纯度液态的氧。随着科技的不断发展进步，20世纪的初期出现了以分子筛为吸附剂的全自动化的工业制取氧气的方法；在随后的几十年中又有了新的进展：人工合成氨、氢等气体的大量生产和使用导致了大气层中二氧化碳含量的增加以及臭氧层的破坏等一系列环境问题；到了二十一世界人们开始寻找能够替代这些有害物质的新能源技术并取得了一定的成果例如利用太阳能分解水产生大量可供人类使用的可再生燃料和水煤气等等
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