制氧站租赁的发展历程可以追溯到20世纪50年代。，氧气是通过在高压下将空气分离而制成的，因此这种过程被用作提供用途的液态氧的基础技术。然而到了60和70年带，随着气体管道供应系统越来越广泛地应用，加上家庭用气需求的增长以及工业生产对高纯度气的需求增加，使得人们开始寻求更、安全和经济的方式来生产和分配这些产品。
于是乎一种新的方式出现了——即通过分子筛从空气中提取氮气并过滤掉水分和其他杂质以制备出更高质量的或工业用的纯净的气体。这就是现在我们所说的“湿式”或者“干式”制氧机的主要区别所在。“湿法工艺”（也被称为深冷加压）是使用这种方法的一种主要方法：首先把空分塔中的压力降低至常温（约-143℉），然后在这个温度下利用液体形式的制冷剂冷却来自大气层抽取出来的混合物。此时水蒸气压升并与馏分成冰状固体形式而被收集起来；剩下的部分就是几乎只有氮元素的低温干燥气流。这个流程可以在一个大型设备中完成，例如一套商业规模的装置就可以在一个小时内产生8,000立方英尺/分钟的压缩空气量。
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